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產品簡介
日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N干式真空泵是節(jié)能、高負荷工藝的理想選擇能夠在重負荷下進行處理兼容高溫控制節(jié)能采用耐腐蝕材料標準耐腐蝕性增強選項在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL
日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N
日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N
荏原 （EBARA） 高溫技術支持高負荷工藝，在半導體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產生反應副產物。 由于其高節(jié)能性能，可以處理高負載過程并同時節(jié)省能源。 標配耐腐蝕材料，還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據(jù)工藝條件的豐富產品陣容，可以處理各種高負荷工藝。
| 型 | 單位 | EV-M20N 系列 | EV-M102N 系列 | EV-M202N 系列 | EV-M302N 系列 | EV-M502N 系列 | EV-M505SF 系列 | 電動車 EV-M802N | 電動叉車 EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接直徑 | 進氣口 | 西北 40 | ISO100 認證 | ISO100 認證 | ISO100 認證 | ISO160 認證 | ISO160 認證 | ISO200 認證 | ISO200 認證 | ISO200 認證 | |
| 排氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | °C | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 近似質量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |
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